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浏览/检索结果: 共2条，第1-2条 帮助 限定条件 专题：微电子研究所    第一署名单位    第一作者单位    通讯作者单位     已选(0)清除 条数/页：5101520253035404550556065707580859095100   排序方式：请选择作者升序作者降序题名升序题名降序发表日期升序发表日期降序提交时间升序提交时间降序 电子束曝光的Monte Carlo模拟 期刊论文 微细加工技术, 2002, 期号: 1, 页码: 6,1_5,17 作者:  陈宝钦;  任黎明 收藏  |  浏览/下载：6/0  |  提交时间：2010/05/25 电子束曝光  能量沉积  蒙特卡洛模拟   Monte Carlo方法模拟低能电子束曝光电子散射轨迹 期刊论文 半导体学报, 2001, 卷号: 22, 期号: 12, 页码: 6，1519-1524 作者:  任黎明;  陈宝钦 收藏  |  浏览/下载：14/0  |  提交时间：2010/05/25 电子束曝光 电子散射  蒙特卡洛法  半导体工艺