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浏览/检索结果: 共4条，第1-4条 帮助 限定条件 专题：电工研究所    第一署名单位    第一作者单位    通讯作者单位     已选(0)清除 条数/页：5101520253035404550556065707580859095100   排序方式：请选择作者升序作者降序题名升序题名降序发表日期升序发表日期降序提交时间升序提交时间降序 光刻机投影物镜波像差在线检测关键技术研究 学位论文 博士: 中国科学院电工研究所, 2008 1刘克,电工研究所 收藏  |  浏览/下载：25/0  |  提交时间：2010/10/18 光刻投影物镜  波像差  光学干涉测量  相移点衍射干涉仪  干涉图像处理 lithographic projection optics  wavefront error  optical measurement  phase-shifting point diffraction interferometer  interferogram analysis   纳米级多功能聚焦离子束光柱体的研究 学位论文 博士: 中国科学院电工研究所, 2007 1李文萍,电工研究所 收藏  |  浏览/下载：11/0  |  提交时间：2010/10/18 聚集离子束  动态校正  三维模型法  一体化设计  库仑力效应 Focused ion beam, Dynamic correction, 3-D modeling, Integrated design   纳米级电子束曝光机聚焦偏转系统的研究 学位论文 博士: 中国科学院电工研究所, 2005 1刘珠明,电工研究所 收藏  |  浏览/下载：20/0  |  提交时间：2010/10/18 电子束曝光  纳米级聚焦偏转系统  高级像差 Electron beam lithography  Nanometer-scale focusing-deflection system  High-order aberrations   电动汽车异步电机矢量控制驱动系统若干问题的研究 学位论文 博士: 中国科学院电工研究所电气工程, 2005 1窦汝振,电工研究所 收藏  |  浏览/下载：101/0  |  提交时间：2010/10/18 异步电动机  矢量控制  弱磁  共模电压 Induction motor  Vector control  Field weakening  Common mode voltage