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浏览/检索结果: 共1条，第1-1条 帮助 限定条件 专题：电工研究所    第一署名单位    第一作者单位    通讯作者单位     已选(0)清除 条数/页：5101520253035404550556065707580859095100   排序方式：请选择作者升序作者降序题名升序题名降序发表日期升序发表日期降序提交时间升序提交时间降序 ArF浸没式光刻技术研究及光刻仿真辅助设计软件开发 学位论文 硕士: 中国科学院电工研究所, 2005 1黄国胜,电工研究所 收藏  |  浏览/下载：23/0  |  提交时间：2010/10/18 ArF浸没式光刻  软件开发  下一代光刻 MicroCruiser  ArF Immersion lithography  Software Development  Next Generation Lithography