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浏览/检索结果: 共2条，第1-2条 帮助 限定条件 专题：光电技术研究所    第一署名单位    第一作者单位    通讯作者单位     已选(0)清除 条数/页：5101520253035404550556065707580859095100   排序方式：请选择作者升序作者降序题名升序题名降序发表日期升序发表日期降序提交时间升序提交时间降序 Dynamic behavior of perforated parallel-plate actuator under squeeze film damping effect 期刊论文 Microsystem Technologies, 2017, 卷号: 23, 期号: 2, 页码: 411-419 作者:  Wang, Weimin;  Tao, Fenggang;  Wang, Qiang;  Qiu, Chuankai;  Chen, Zexiang 收藏  |  浏览/下载：22/0  |  提交时间：2018/11/20 Accelerometers - Actuators - Damping - Dynamic models - Micromachining - Stiffness - Surface micromachining   Dynamic behavior of perforated parallel-plate actuator under squeeze film damping effect 期刊论文 Microsystem Technologies, 2015 作者:  Wang, Weimin;  Tao, Fenggang;  Wang, Qiang;  Qiu, Chuankai;  Chen, Zexiang 收藏  |  浏览/下载：12/0  |  提交时间：2016/11/22