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Influence of sphere-surface distance and exposure dose on resolution of sphere-lens-array lithography 期刊论文
OPTICS EXPRESS, 2015, 卷号: 23, 期号: 23, 页码: 30136-30142
作者:  Liu, Xianchao;  Li, Xiong;  Li, Ling;  Chen, Weidong;  Luo, Xiangang
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