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浏览/检索结果: 共2条，第1-2条 帮助 限定条件 专题：光电技术研究所    第一署名单位    第一作者单位    通讯作者单位     已选(0)清除 条数/页：5101520253035404550556065707580859095100   排序方式：请选择作者升序作者降序题名升序题名降序发表日期升序发表日期降序提交时间升序提交时间降序 光电跟踪系统中模糊-动态高型控制技术研究 学位论文 中国科学院光电技术研究所: 中国科学院大学, 2021 作者:  秦树旺 收藏  |  浏览/下载：45/0  |  提交时间：2021/06/20 光电跟踪，模糊控制，动态高型，降型算法   用于大NA光刻投影物镜波像差检测系统的精密定位台的研究 学位论文 硕士, 北京: 中国科学院研究生院, 2012 舒强 收藏  |  浏览/下载：44/0  |  提交时间：2014/12/11 波像差检测  压电陶瓷驱动器  柔性铰链  精密定位