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浏览/检索结果: 共2条，第1-2条 帮助 限定条件 专题：长春光学精密机械与物理研究所    第一署名单位    第一作者单位    通讯作者单位     已选(0)清除 条数/页：5101520253035404550556065707580859095100   排序方式：请选择作者升序作者降序题名升序题名降序发表日期升序发表日期降序提交时间升序提交时间降序 Optical coatings for projection objective immersion lithography 期刊论文 Chinese Optics, 2018, 卷号: 11, 期号: 5, 页码: 745-764 作者:  Bi, Dan-Dan;  Zhang, Li-Chao;  Shi, Guang 收藏  |  浏览/下载：13/0  |  提交时间：2019/09/17 Optical films  Integrated circuit manufacture  Irradiation  Lithography  Optical coatings  Optical systems   Installation error control of dynamic measurement for small photoelectric encoder 期刊论文 Guangxue Jingmi Gongcheng/Optics and Precision Engineering, 2016, 卷号: 24, 期号: 7 作者:  Zhang, H.-B.;  Q.-H. Wan;  S.-J. Wang;  H. Yu and L.-H. Liang 收藏  |  浏览/下载：18/0  |  提交时间：2017/09/11