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元素掺杂类金刚石碳膜降内应力研究综述 Internal Stress Reduction in Diamond-like Carbon Coatings via Elemental Doping: A Review 期刊论文
2018, 卷号: 47, 页码: 95-103
作者:  孙德恩[1,2];  董洪铭[1];  Sam Zhang[3];  张晓民[4]
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