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GaAs、AlAs、DBR反应离子刻蚀速率的研究 期刊论文
半导体学报, 2001, 卷号: 22, 期号: 9, 页码: 1222
刘文楷; 林世鸣; 武术; 朱家廉; 高俊华; 渠波; 陆建祖; 廖奇为; 邓晖; 陈弘达
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