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科研机构
上海微系统与信息技术... [3]
内容类型
期刊论文 [3]
发表日期
2004 [1]
2003 [1]
1998 [1]
学科主题
Physics, C... [3]
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学科主题:Physics, Condensed Matter
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Optimized implant dose and energy to fabricate high-quality patterned SIMOX SOI materials
期刊论文
SOLID STATE COMMUNICATIONS, 2004, 卷号: 130, 期号: 3-4, 页码: 275-279
Dong, YM
;
Chen, J
;
Wang, X
;
Chen, M
;
Wang, X
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提交时间:2012/03/24
SILICON-ON-INSULATOR
OXYGEN-ION-IMPLANTATION
SEPARATION
EVOLUTION
DESIGN
Fabrication of silicon-on-insulator-multilayer structure by epitaxial layer transfer
期刊论文
PHYSICA B-CONDENSED MATTER, 2003, 卷号: 336, 期号: 3-4, 页码: 344-348
Xie, XY
;
Liu, WL
;
Lin, Q
;
Men, CL
;
Lin, CL
收藏
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浏览/下载:11/0
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提交时间:2012/03/24
ION-BEAM SYNTHESIS
NITRIDE
The modification of SIMOX (separated by implantation of oxygen) material to improve the total-dose irradiation hardness
期刊论文
JOURNAL OF PHYSICS-CONDENSED MATTER, 1998, 卷号: 10, 期号: 20, 页码: 4393-4399
Gao, JX
;
Yu, XF
;
Zhang, M
;
Lin, CL
;
Yan, RL
;
Ren, DY
收藏
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浏览/下载:4/0
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提交时间:2012/03/25
BURIED OXIDES
SOI
SILICON
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