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上海微系统与信息技术... [5]
内容类型
期刊论文 [5]
发表日期
2011 [2]
2004 [1]
1996 [1]
1995 [1]
学科主题
Multidisci... [5]
Materials ... [3]
Ceramics; ... [1]
Instrument... [1]
Physics [1]
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An analytical model for coplanar waveguide on silicon-on-insulator substrate with conformal mapping technique
期刊论文
CHINESE PHYSICS B, 2011, 卷号: 20, 期号: 1, 页码: 10210
He,DW
;
Cheng,XH程新红
;
Wang,ZJ
;
Xu,DW
;
Song,ZR
;
Yu,YH
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浏览/下载:11/0
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提交时间:2012/04/10
IOP PUBLISHING LTD
Silicon-on-Insulator-on-Cavity-Structured Micropressure Sensor
期刊论文
SENSORS AND MATERIALS, 2011, 卷号: 23, 期号: 3, 页码: 159-166
Wu,AM
;
Wei,X
;
Yang,ZF
;
Chen,J
;
Chen,M
;
Bi,DW
;
Zhang,ZX
;
Wang,X
收藏
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浏览/下载:16/0
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提交时间:2012/04/10
MYU
Analysis of IBAD silicon oxynitride film for anti-reflection coating application
期刊论文
JOURNAL OF NON-CRYSTALLINE SOLIDS, 2004, 卷号: 333, 期号: 3, 页码: 296-300
Wang,YJ
;
Cheng,XL
;
Lin,ZL
;
Zhang,CS
;
Xiao,HB
;
Zhang,F
;
Zou,SC
收藏
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浏览/下载:12/0
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提交时间:2012/03/24
RAY PHOTOELECTRON-SPECTROSCOPY
REFRACTIVE-INDEX
ON-INSULATOR
THIN-FILMS
WAVE-GUIDE
AUGER-SPECTROSCOPY
INTEGRATED-OPTICS
NITRIDE FILMS
ELLIPSOMETRY
LAYERS
Preparation of Pb(Zr0.52Ti0.48)O-3 thin films on silicon-on-insulator substrates by excimer laser deposition combined with rapid thermal annealing
期刊论文
JOURNAL OF MATERIALS SCIENCE, 1996, 卷号: 31, 期号: 20, 页码: 5415-5420
Zheng,LR
;
Lin,CL
;
Zou,SC
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浏览/下载:13/0
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提交时间:2012/03/25
SIMOX
OPTICAL EFFECTS OF DOPED TOP LAYERS IN SILICON-ON-INSULATOR STRUCTURES FORMED BY ION-IMPLANTATION
期刊论文
JOURNAL OF MATERIALS SCIENCE, 1995, 卷号: 30, 期号: 13, 页码: 3539-3542
YU,YH
;
LIN,CG
;
Zou,SC
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浏览/下载:20/0
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提交时间:2012/03/25
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