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上海微系统与信息技术... [2]
内容类型
期刊论文 [2]
发表日期
2004 [2]
学科主题
Condensed ... [2]
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Multidisci... [2]
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Ge condensation characterization of SiGe-On-Insulator structure fabricated by separation of oxygen implantation
期刊论文
2004: 7TH INTERNATIONAL CONFERENCE ON SOLID-STATE AND INTEGRATED CIRCUITS TECHNOLOGY, VOLS 1- 3, PROCEEDINGS, 2004, 期号: 0, 页码: 2187-2189
Chen,ZJ
;
Zhang,F
;
Zhang,ZX
;
Bo,J
;
Wang,X
;
Zou,SC
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提交时间:2012/03/24
STRAINED-SI
MOBILITY ENHANCEMENT
SIMOX TECHNOLOGY
ELECTRON
SILICON
MOSFETS
LAYER
Buried tungsten silicide layer in silicon on insulator substrate by smart-cut (R)
期刊论文
SEMICONDUCTOR SCIENCE AND TECHNOLOGY, 2004, 卷号: 19, 期号: 11, 页码: 1329-1332
Luo,SH
;
Liu,WL
;
Zhang,M
;
Di,ZF
;
Wang,SY
;
Song,ZT
;
Lin,CL
;
Zou,SC
收藏
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提交时间:2012/03/24
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