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浏览/检索结果: 共1条，第1-1条 帮助 限定条件 学科主题：Actuators - Electrostatics - Fabrication - Natural frequencies    内容类型：会议论文     已选(0)清除 条数/页：5101520253035404550556065707580859095100   排序方式：请选择作者升序作者降序题名升序题名降序发表日期升序发表日期降序提交时间升序提交时间降序 A 19 element segmented MEMS deformable mirror based on electrostatic repulsive-force actuator 会议论文 Proceedings of SPIE: MEMS Adaptive Optics VII, 2013 作者:  Wang, Weimin;  Tao, Fenggang;  Wang, Qiang;  Qiu, Chuankai;  Chen, Zexiang 收藏  |  浏览/下载：18/0  |  提交时间：2016/11/25