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高温退火对GDa-Si_xC_(1-x):H 薄膜晶化特性的影响 期刊论文
半导体学报/Pan Tao Ti Hsueh Pao/Chinese Journal of Semiconductors, 1985, 期号: 3, 页码: 323-325
作者:  张仿清;  张南屏;  余光明;  汤训虎;  陈光华
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