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浏览/检索结果: 共9条，第1-9条 帮助 限定条件 发表日期：2015     已选(0)清除 条数/页：5101520253035404550556065707580859095100   排序方式：请选择作者升序作者降序题名升序题名降序发表日期升序发表日期降序提交时间升序提交时间降序 基于CGH的非球面混合补偿检测及离轴光学系统装调的关键技术研究 学位论文 博士: 中国科学院大学, 2015 作者:  李明 收藏  |  浏览/下载：1597/0  |  提交时间：2015/11/30 非球面  光学检测  计算全息图  混合补偿检测  光学系统装调   高NA投影光刻物镜波像差检测技术研究 学位论文 博士: 中国科学院大学, 2015 作者:  李晶 收藏  |  浏览/下载：64/0  |  提交时间：2015/11/30 投影光刻  光学检测  波像差  哈特曼-夏克波前传感器   大口径光学平面镜低阶面形检测技术研究 学位论文 博士: 中国科学院大学, 2015 作者:  戚二辉 收藏  |  浏览/下载：61/0  |  提交时间：2015/11/30 光学检测  大口径平面镜  低阶面形  轮廓检测   子孔径拼接检测方法的研究 学位论文 博士: 中国科学院大学, 2015 作者:  陈一巍 收藏  |  浏览/下载：50/0  |  提交时间：2015/11/30 光学检测  干涉仪  大口径光学元件  非球面  子孔径拼接   TMT M3 mirror figure measurement with slope method 期刊论文 Hongwai yu Jiguang Gongcheng/Infrared and Laser Engineering, 2015, 卷号: 44, 期号: 6, 页码: 1884-1889 作者:  An, Q.;  J. Zhang;  F. Yang and B. Qiao 收藏  |  浏览/下载：14/0  |  提交时间：2016/08/24 Absolute testing of flats in sub-stitching interferometer by rotation-shift method 会议论文 Proceedings of SPIE - The International Society for Optical Engineering, 2015 作者:  Jia, Xin;  Xu, Fuchao;  Xie, Weimin;  Li, Yun;  Xing, Tingwen 收藏  |  浏览/下载：20/0  |  提交时间：2016/11/23 Absolute testing of surface based on sub-Aperture stitching interferometry 会议论文 Proceedings of SPIE: International Conference on Photonics and Optical Engineering, icPOE 2014, 2015 作者:  Jia, Xin;  Xu, Fuchao;  Xie, Weimin;  Xing, Tingwen 收藏  |  浏览/下载：15/0  |  提交时间：2016/11/23 Dynamic stitching interferometric testing for large optical plane 会议论文 MODELING ASPECTS IN OPTICAL METROLOGY V, 2015-01-01 作者:  Wu, Xin[1];  Qi, Te[2];  Zhang, Linna[3];  Yu, Yingjie[4] 收藏  |  浏览/下载：2/0  |  提交时间：2019/04/30 dynamic interferometer  sub-aperture stitching  systematic error  error restraint   光刻机工件台方镜面形子孔径拼接干涉测量技术研究 学位论文 硕士: 中国科学院上海光学精密机械研究所, 2015 作者:  李永 收藏  |  浏览/下载：79/0  |  提交时间：2016/11/28 干涉测量  子孔径拼接  误差累积  高反射率平面  45°平面镜