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浏览/检索结果: 共4条，第1-4条 帮助 限定条件 发表日期：2015    内容类型：其他     已选(0)清除 条数/页：5101520253035404550556065707580859095100   排序方式：请选择作者升序作者降序题名升序题名降序发表日期升序发表日期降序提交时间升序提交时间降序 Parylene C autofluorescence for on-chip highest processing temperature sensing 其他 2015-01-01 Zhang, Lingqian; Liu, Yaoping; Yang, Fang; Wang, Wei; Zhang, Dacheng; Li, Zhihong 收藏  |  浏览/下载：2/0  |  提交时间：2017/12/03 A method to evaluate the influence of different substrate on stress mismatch induced deformation in MEMS accelerometer 其他 2015-01-01 You, Jun; Tian, Dayu; He, Chunhua; Zhao, Qiancheng; Yang, Zhenchuan; Zhang, Dacheng; Yan, Guizhen 收藏  |  浏览/下载：8/0  |  提交时间：2017/12/03 Parylene C Autofluorescence for On-chip Highest Processing Temperature Sensing 其他 2015-01-01 Zhang, Lingqian; Liu, Yaoping; Yang, Fang; Wang, Wei; Zhang, Dacheng; Li, Zhihong 收藏  |  浏览/下载：4/0  |  提交时间：2017/12/03 Parylene C  fluorescence  temperature sensing   A Method to Evaluate the Influence of Different Substrate on Stress Mismatch Induced Deformation in MEMS Accelerometer 其他 2015-01-01 You, Jun; Tian, Dayu; He, Chunhua; Zhao, Qiancheng; Yang, Zhenchuan; Zhang, Dacheng; Yan, Guizhen 收藏  |  浏览/下载：6/0  |  提交时间：2017/12/03 thermal reliability  temperature drift  deformation  capacitance variation  packaging  structural design