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浏览/检索结果: 共4条，第1-4条 帮助 限定条件 发表日期：2006     已选(0)清除 条数/页：5101520253035404550556065707580859095100   排序方式：请选择作者升序作者降序题名升序题名降序发表日期升序发表日期降序提交时间升序提交时间降序 溅射沉积MoS_2薄膜中掺杂Ti对其结构与性能的影响研究 期刊论文 润滑与密封/Run Hua Yu Mi Feng/Lubrication Engineering, 2006, 期号: 11, 页码: 24-27 作者:  周晖;  温庆平;  桑瑞鹏;  万志华;  刘洪柱 收藏  |  浏览/下载：8/0  |  提交时间：2015/04/27 非平衡磁控溅射  MoS_2薄膜  掺杂Ti  结构和性能  Adhesion force  Ball-on-disc friction  Doping Ti  Loose column structure  Mechanical performance  MoS2 coating  MoS2-Ti composite coatings  Nanoscratch tester  Tribological properties  Unbalanced magnetron sputtering  Vacuum environment  Wear tester   Structure and tribology property of carbon nitride films deposited by MW-ECR plasma enhanced unbalanced magnetron sputtering 期刊论文 Plasma Science & Technology, 2006, 卷号: 8, 期号: 4, 页码: 425-428 P. Gao; J. Xu; Y. Piao; W. Y. Ding; X. L. Deng; C. Dong 收藏  |  浏览/下载：12/0  |  提交时间：2012/04/13 carbon nitride  tribological property  unbalanced magnetron sputtering  cyclotron-resonance plasma  raman-spectroscopy  thin-films  c-n  nitrogen   Structure and tribology property of carbon nitride films deposited by MW-ECR plasma enhanced unbalanced magnetron sputtering 期刊论文 PLASMA SCIENCE & TECHNOLOGY, 2006, 卷号: 8, 页码: 425-428 作者:  Gao Peng;  Xu Jun;  Piao Yong;  Ding Wanyu;  Deng Xinlu 收藏  |  浏览/下载：4/0  |  提交时间：2019/12/27 carbon nitride  tribological property  unbalanced magnetron sputtering   N-rich Zr-N films deposited by unbalanced magnetron sputtering enhanced with a highly reactive MW-ECR plasma 期刊论文 SURFACE & COATINGS TECHNOLOGY, 2006, 卷号: 200, 页码: 4918-4922 作者:  Zhang, ZG;  Liu, TW;  Xu, J;  Deng, XL;  Dong, C 收藏  |  浏览/下载：1/0  |  提交时间：2019/12/27 Zr-N film  ECR plasma  magnetron sputtering  plasma diagnostic