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内容类型
期刊论文 [3]
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2005 [3]
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发表日期:2005
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The study of doped DLC films by Ti ion implantation
期刊论文
thin solid films, 2005, 卷号: 475, 期号: 1-2, 页码: 279-282
作者:
Cui, L
;
Li, GQ
;
Chen, WW
;
Mu, ZX
;
Zhang, CW
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提交时间:2015/11/10
diamond-like carbon films
ion implantation
Ti doped
Investigation of diamond-like-carbon films prepared by unbalanced magnetron sputtering
期刊论文
ACTA PHYSICA SINICA, 2005, 卷号: 54, 期号: 10, 页码: 4944
Yang, WB
;
Fan, SH
;
Zhang, GL
;
Ma, PN
;
Zhang, SZ
;
Du, J
收藏
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浏览/下载:6/0
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提交时间:2013/09/18
DLC FILMS
AMORPHOUS-CARBON
GLASS SUBSTRATE
PLASMA-CVD
DEPOSITION
RADIATION
COATINGS
Studies of the discharge properties of unbalanced magnetron sputtering system
期刊论文
4th Asian-European International Conference on Plasma Surface Engineering, 2005, 卷号: 193, 页码: 46-49
作者:
Mu, ZX
;
Li, GQ
;
Che, DL
;
Huang, KY
;
Liu, C
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提交时间:2020/01/02
plasma
film
magnetron
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