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上海微系统与信息技术... [2]
内容类型
期刊论文 [2]
发表日期
2003 [2]
学科主题
Materials ... [1]
Physics, M... [1]
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Composition, structure and optical properties of SiC buried layer formed by high dose carbon implantation into Si using metal vapor vacuum arc ion source
期刊论文
THIN SOLID FILMS, 2003, 卷号: 426, 期号: 1-2, 页码: 1-7
Chen, DH
;
Wong, SP
;
Yang, SH
;
Mo, D
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提交时间:2012/03/24
BEAM SYNTHESIS
SILICON
XPS
Surface properties of unintentionally doped GaN film and its contact behaviour with Ni/Cr/Au compound metals
期刊论文
CHINESE PHYSICS LETTERS, 2003, 卷号: 20, 期号: 10, 页码: 1841-1843
Yuan, JS
;
Chen, GD
;
Qi, M
;
Li, AZ
;
Xie, LJ
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提交时间:2012/03/24
NITRIDE
OXIDE
BLUE
XPS
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