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Preparation of CNx/TiNy multilayers by ion beam sputtering 期刊论文
JOURNAL OF CRYSTAL GROWTH, 2001, 卷号: 233, 期号: 1-2, 页码: 303
Yu, DL; Tian, YJ; He, JL; Xiao, FR; Wang, TS; Li, DC; Li, L; Zheng, G; Yanagisawa, O
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