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上海微系统与信息技术... [2]
北京大学 [1]
内容类型
期刊论文 [3]
发表日期
2000 [3]
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Effects of Pt diffusion barrier layer on the interface reaction and electric properties of PZT film/Si(111) sample
期刊论文
中国化学英文版, 2000
Zhu, YF
;
Yan, PY
;
Yi, T
;
Cao, LL
;
Li, LT
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提交时间:2015/11/16
PZT
interface reaction
Pt diffusion barrier
XPS
AES
THIN-FILM
BUFFER LAYER
SILICON
Ti, TiN, and Ti/TiN thin films prepared by ion beam assisted deposition as diffusion barriers between Cu and Si
期刊论文
JOURNAL OF VACUUM SCIENCE & TECHNOLOGY A-VACUUM SURFACES AND FILMS, 2000, 卷号: 18, 期号: 5, 页码: 2312-2318
Mu, HC
;
Yu, YH
;
Luo, EZ
;
Sundaravel, B
;
Wong, SP
;
Wilson, IH
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提交时间:2012/03/24
TRANSITION-METALS
COPPER
METALLIZATION
LAYERS
SILICON
MO
TA
In situ X-ray studies of oxygen in- and out-diffusion in c-axis-oriented YBa2Cu3O7-delta films
期刊论文
JOURNAL OF MATERIALS SCIENCE LETTERS, 2000, 卷号: 19, 期号: 10, 页码: 855-857
Jin, XJ
;
Li, L
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提交时间:2012/03/24
CHEMICAL DIFFUSION
TRACER DIFFUSION
SINGLE-CRYSTAL
THIN-FILMS
BA2YCU3O7-DELTA
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