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期刊论文 [2]
其他 [1]
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1991 [3]
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HIGH-RESOLUTION ELECTRON-MICROSCOPY ANALYSIS OF ION-BEAM INDUCED ANNEALING OF MEV AS+ ION-IMPLANTED SILICON
期刊论文
NUCLEAR INSTRUMENTS & METHODS IN PHYSICS RESEARCH SECTION B-BEAM INTERACTIONS WITH MATERIALS AND ATOMS, 1991, 卷号: 59, 页码: 434
ZHANG, BX
;
WANG, ZL
;
QI, L
;
ZHANG, PJ
;
ZHENG, JG
;
WANG, LC
;
DU, AY
收藏
  |  
浏览/下载:9/0
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提交时间:2013/09/17
INDUCED EPITAXIAL REGROWTH
AMORPHOUS-SILICON
RECRYSTALLIZATION
SI
DAMAGE
LAYERS
SPUTTERING ANGULAR-DISTRIBUTIONS OF INDIVIDUAL ELEMENTS FOR LOW-ENERGY AR ION IRRADIATION OF PTCU ALLOY
期刊论文
Chinese Physics Letters, 1991, 卷号: 8, 期号: 1, 页码: 44-47
L. P. Zheng
;
R. S. Li
;
M. Y. Li
;
W. Z. Shen
;
J. Y. Lin
;
Z. Y. Zou
收藏
  |  
浏览/下载:10/0
  |  
提交时间:2012/04/14
bombardment-induced segregation
surface segregation
implantation
cu
HIGH-RESOLUTION ELECTRON-MICROSCOPY ANALYSIS OF ION-BEAM INDUCED ANNEALING OF MEV AS+ ION-IMPLANTED SILICON
其他
1991-01-01
ZHANG, BX
;
WANG, ZL
;
QI, L
;
ZHANG, PJ
;
ZHENG, JG
;
WANG, LC
;
DU, AY
收藏
  |  
浏览/下载:4/0
  |  
提交时间:2015/11/16
INDUCED EPITAXIAL REGROWTH
AMORPHOUS-SILICON
RECRYSTALLIZATION
SI
DAMAGE
LAYERS
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