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Semicondutor device 专利
专利号: JP1983155720A, 申请日期: 1983-09-16, 公开日期: 1983-09-16
作者:  YOSHIKAWA AKIO;  SUGINO TAKASHI;  KAZUMURA MASARU;  OOTA KAZUNARI
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用硅烷和乙烯辉光放电法制备的a-Si_xC_(1-x):H薄膜及光电性能的研究 期刊论文
半导体学报/Pan Tao Ti Hsueh Pao/Chinese Journal of Semiconductors, 1983, 卷号: 4, 期号: 2, 页码: 149-153
作者:  陈光华;  张仿清;  杜宁;  徐希翔;  黄士生
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OPTICAL AND ELECTRICAL-PROPERTIES OF A-SIXC1-X-H FILMS PREPARED BY GLOW-DISCHARGE FROM SIH4 AND C2H4 期刊论文
SOLAR ENERGY MATERIALS, 1983, 卷号: 7, 期号: 4, 页码: 413-420
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