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科研机构
上海光学精密机械研究... [3]
内容类型
学位论文 [3]
发表日期
2015 [1]
2013 [2]
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光刻机工件台方镜面形子孔径拼接干涉测量技术研究
学位论文
硕士: 中国科学院上海光学精密机械研究所, 2015
作者:
李永
收藏
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浏览/下载:78/0
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提交时间:2016/11/28
干涉测量
子孔径拼接
误差累积
高反射率平面
45°平面镜
高精度平面面形干涉测量技术研究
学位论文
硕士: 中国科学院上海光学精密机械研究所, 2013
作者:
张敏
收藏
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浏览/下载:34/0
  |  
提交时间:2016/11/28
干涉测量
相位提取
二维FFT法
绝对检验
高反射率平面
高精度平面面形干涉测量技术研究
学位论文
硕士: 中国科学院上海光学精密机械研究所, 2013
作者:
张敏
收藏
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浏览/下载:27/0
  |  
提交时间:2016/11/28
干涉测量
相位提取
二维FFT法
绝对检验
高反射率平面
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