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| 投影光刻物镜像质补偿策略与补偿技术研究 学位论文
中国科学院大学(中国科学院长春光学精密机械与物理研究所): 中国科学院大学(中国科学院长春光学精密机械与物理研究所), 2019
作者: 赵磊
  收藏 | 浏览/下载：9/0 | 提交时间：2020/08/24
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| 投影光刻物镜偏振像差研究 学位论文
中国科学院大学(中国科学院长春光学精密机械与物理研究所): 中国科学院大学(中国科学院长春光学精密机械与物理研究所), 2018
作者: 周泽龙
收藏 | 浏览/下载：9/0 | 提交时间：2019/09/23
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| LED微投影系统设计与红光LED微显示阵列的制作研究 学位论文
中国科学院大学(中国科学院长春光学精密机械与物理研究所): 中国科学院大学(中国科学院长春光学精密机械与物理研究所), 2018
作者: 冯思悦
收藏 | 浏览/下载：1/0 | 提交时间：2019/09/23
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| 193nm投影光刻物镜光机系统关键技术研究进展 期刊论文
中国科学:技术科学, 2017, 页码: 565-581
作者: 张德福; 李显凌; 芮大为; 李朋志; 东立剑
收藏 | 浏览/下载：42/0 | 提交时间：2018/04/09
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| 全频段亚纳米精度氟化钙材料加工 期刊论文
光学精密工程, 2016, 期号: 11, 页码: 2636-2643
作者: 刘健; 张春雷; 徐乐; 马占龙; 王飞
收藏 | 浏览/下载：23/0 | 提交时间：2017/09/17
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| 深紫外光刻投影物镜温度特性研究 期刊论文
中国激光, 2016, 期号: 5, 页码: 276-285
作者: 姚长呈; 巩岩
收藏 | 浏览/下载：15/0 | 提交时间：2017/09/17
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| 掩模位置误差对光刻投影物镜畸变的影响 期刊论文
光学精密工程, 2016, 期号: 3, 页码: 469-476
作者: 杨旺; 黄玮; 尚红波
收藏 | 浏览/下载：21/0 | 提交时间：2017/09/17
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| 用于高精度非球面面形检测的计算全息图的设计 期刊论文
激光与光电子学进展, 2016, 期号: 9, 页码: 70-77
作者: 高松涛; 武东城; 于长淞
收藏 | 浏览/下载：37/0 | 提交时间：2017/09/17
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| 光刻投影物镜恒温水套小比例模型的设计与性能测试 期刊论文
激光与光电子学进展, 2016, 期号: 8, 页码: 146-151
作者: 彭海峰; 于新峰; 秦硕
收藏 | 浏览/下载：17/0 | 提交时间：2017/09/17
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| 基于Ptychography的极紫外光刻投影物镜波像差检测技术 学位论文
硕士: 中国科学院上海光学精密机械研究所, 2016
作者: 方伟
收藏 | 浏览/下载：124/0 | 提交时间：2016/11/28
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