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浏览/检索结果: 共1条，第1-1条 帮助 已选(0)清除 条数/页：5101520253035404550556065707580859095100   排序方式：请选择作者升序作者降序题名升序题名降序发表日期升序发表日期降序提交时间升序提交时间降序 Performance Evaluation and Comparison between Direct and Chemical-Assisted Picosecond Laser Micro-Trepanning of Single Crystalline Silicon 期刊论文 MATERIALS, 2019, 卷号: 12, 期号: 1 作者:  Zhu, Hao[1];  Zhang, Zhaoyang[2];  Xu, Kun[3];  Xu, Jinlei[4];  Zhu, Shuaijie[5] 收藏  |  浏览/下载：6/0  |  提交时间：2019/12/24 micro-trepanning  single crystalline silicon  picosecond laser  chemical-assisted  laser-material interaction  material removal mechanism