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浏览/检索结果: 共2条，第1-2条 帮助 已选(0)清除 条数/页：5101520253035404550556065707580859095100   排序方式：请选择作者升序作者降序题名升序题名降序发表日期升序发表日期降序提交时间升序提交时间降序 MICROSTRUCTURE AND DIELECTRIC PROPERTIES OF SILICON CARBONITRIDE DIELECTRIC BARRIER FILMS DEPOSITED BY SPUTTERING 期刊论文 2018, 卷号: 25, 期号: 3 作者:  Peng, Yinqiao[1];  Zhou, Jicheng[2];  Gong, Jiehong[3];  Yu, Qinrong[3];  Lei, Guibin[4] 收藏  |  浏览/下载：3/0  |  提交时间：2019/12/26 Microstructure and optical properties of SiCN thin films deposited by reactive magnetron sputtering 期刊论文 2014, 卷号: 131, 页码: 148 作者:  Peng, Yinqiao[1];  Zhou, Jicheng[2];  Gong, Jiehong[3];  Yu, Qinrong[3] 收藏  |  浏览/下载：8/0  |  提交时间：2019/12/26