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浏览/检索结果: 共1条，第1-1条 帮助 已选(0)清除 条数/页：5101520253035404550556065707580859095100   排序方式：请选择作者升序作者降序题名升序题名降序发表日期升序发表日期降序提交时间升序提交时间降序 Plasma-Enhanced Atomic Layer Deposition of GaN Thin Film at Low Temperature 期刊论文 Key Engineering Materials, 2017, 期号: 727, 页码: 907-914 作者:  Wen Hui.Tang;  Yi.Jia;  Bo Cheng.Zhang;  Chang Wei.Yang 收藏  |  浏览/下载：2/0  |  提交时间：2019/12/11 Low Temperature Growth,Polycrystalline GaN Film,PE-ALD