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Fabrication process for silicon ridge waveguide ring resonator 专利
专利号: US20100015741A1, 公开日期: 2010-01-21
作者:  KRUG, WILLIAM P.;  TAKAYESU, JOCELYN Y.;  HOCHBERG, MICHAEL;  KOSHINZ, DENNIS G.;  NIELSEN, JEAN A.
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