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Micro-fabrication and hermeticity measurement of alkali-atom vapor cells based on anodic bonding 期刊论文
CHINESE OPTICS LETTERS, 2019, 卷号: 17, 期号: 10, 页码: 5
作者:  Zhang, Lu;  Zhang, Wendong;  Zhang, Shougang;  Yan, Shubin
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Anodic bondable Li-Na-Al-B-Si-O glass-ceramics for Si - ULTCC heterogeneous integration 期刊论文
JOURNAL OF THE EUROPEAN CERAMIC SOCIETY, 2019, 卷号: 39, 期号: 7, 页码: 2419
作者:  Chen, Guanyu;  Ma, Mingsheng;  Liu, Zhifu;  Wei, Anqing;  Zavabeti, Ali
收藏  |  浏览/下载：81/0  |  提交时间：2019/12/26
microfabricationandhermeticitymeasurementofalkaliatomvaporcellsbasedonanodicbonding 期刊论文
chineseopticsletters, 2019, 卷号: 17, 期号: 10
作者:  Zhang Lu;  Zhang Wendong;  Zhang Shougang;  Yan Shubin
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CLOCKS  
Composites of Li-Al-B-Si-O glass and β-Al2O3 for LTCC-silicon heterogeneous integration applications 期刊论文
Ceramics International, 2018
作者:  Chen, Guanyu;  Liu, Zhifu;  Ma, Mingsheng;  Zhang, Faqiang;  Li, Yongxiang
收藏  |  浏览/下载：27/0  |  提交时间：2018/12/28
MEMS硅玻璃阳极键合工艺评价方法 期刊论文
传感器与微系统, 2017
谷专元; 何春华; 何燕华; 赵前程; 张大成
收藏  |  浏览/下载：5/0  |  提交时间：2017/12/03
Stand-alone differential capacitance force sensors with sub-nano-newton sensitivity 期刊论文
JOURNAL OF MICROMECHANICS AND MICROENGINEERING, 2017
Ye, Jilong; Sun, Taotao; Huang, Dong; Li, Zhihong; Lin, Li
收藏  |  浏览/下载：5/0  |  提交时间：2017/12/03
Glass-SOI-Based Hybrid-Bonded Capacitive Micromachined Ultrasonic Transducer With Hermetic Cavities for Immersion Applications 期刊论文
JOURNAL OF MICROELECTROMECHANICAL SYSTEMS, 2016, 卷号: 25, 期号: 5
作者:  Miao, Jing;  Wang, Hui;  Li, Peng;  Shen, Wenjiang(沈文江);  Xue, Chenyang
收藏  |  浏览/下载：30/0  |  提交时间：2017/03/11
The properties, preparation approaches and uses of microfluidic channels for terahertz absorption signatures detection in aqueous 会议论文
Chongqing, China, July 18, 2016 - July 22, 2016
作者:  Zhang, Mingkun;  Yang, Zhongbo;  Tang, Mingjie;  Yan, Shihan;  Wei, Dongshan
收藏  |  浏览/下载：13/0  |  提交时间：2018/03/16
Low temperature multi-layer wafer level package for chip scale atomic clock (CSAC) 其他
2015-01-01
Li, Nannan; Zhang, Yangxi; Zhu, Ningli; Zhu, Yunhui; Gao, Chengchen; Chen, Jing
收藏  |  浏览/下载：7/0  |  提交时间：2017/12/03
Silicon-silicon anodic bonding process with embedded glass 其他
2015-01-01
Cui, W.P.; Liu, G.D.; Zhang, F.S.; Hu, H.; Gao, C.C.; Hao, Y.L.
收藏  |  浏览/下载：2/0  |  提交时间：2017/12/03

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