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Fabrication of ultra-high aspect ratio silicon grating using an alignment method based on a scanning beam interference lithography system 期刊论文
Optics Express, 2022, 卷号: 30, 期号: 22, 页码: 40842-40853
作者:  X. S. Chen;  S. Jiang;  Y. B. Li;  Y. X. Jiang;  W. Wang and Bayanheshig
收藏  |  浏览/下载：0/0  |  提交时间：2023/06/14
Fabrication of polygonal nanoholes by localized mask-free wet anisotropic etching 期刊论文
2017, 卷号: 7, 期号: 10
作者:  Chen, Qi;  Wang, Yifan;  Zhang, Hualv;  Deng, Tao;  Liu, Zewen
收藏  |  浏览/下载：3/0  |  提交时间：2019/12/31
Dry etched sio2 mask for hgcdte etching process 期刊论文
Journal of electronic materials, 2016, 卷号: 45, 期号: 9, 页码: 4705-4710
作者:  Chen, Y. Y.;  Ye, Z. H.;  Sun, C. H.;  Deng, L. G.;  Zhang, S.
收藏  |  浏览/下载：27/0  |  提交时间：2019/05/09
Terahertz substrateless transmitarray antenna design and microfabrication 期刊论文
Microwave and Optical Technology Letters, 2016, 卷号: 58, 期号: 9, 页码: 2096-2100
作者:  Liu, Guang;  Wang, Hongjian;  Jiang, Jingshan;  Xue, Fei
收藏  |  浏览/下载：17/0  |  提交时间：2016/11/08
用于承载铷原子钟滤光泡的高品质微腔体制备 期刊论文
2014
王婷婷; 曾毅波; 王盛贵; 魏秀燕; 毕瑞可; 郭航
收藏  |  浏览/下载：3/0  |  提交时间：2016/05/17
CMOS-Compatible Silicon Nanowire Field-Effect Transistors for Ultrasensitive and Label-Free MicroRNAs Sensing 期刊论文
SMALL, 2014, 卷号: 10, 期号: 10, 页码: 2022—2028
Lu, N; Gao, AR; Dai, PF; Song, SP; Fan, CH; Wang, YL; Li, T
收藏  |  浏览/下载：22/0  |  提交时间：2015/03/13
Top-Down Fabricated Silicon-Nanowire-Based Field-Effect Transistor Device on a (111) Silicon Wafer 期刊论文
small, 2013
Yu, Xiao; Wang, Yuchen; Zhou, Hong; Liu, Yanxiang; Wang, Yi; Li, Tie; Wang, Yuelin
收藏  |  浏览/下载：4/0  |  提交时间：2015/11/11
A single-walled carbon nanotube thin film solar microcell with V-groove array structure 期刊论文
2013
Chang, Yiyang; Liu, Peng; Zhang, Jinwen
收藏  |  浏览/下载：2/0  |  提交时间：2015/11/13
Fabrication of cantilever with self-sharpening nano-silicon-tip for AFM applications 期刊论文
Microsystem Technologies, 2012, 期号: 7
作者:  Jiadong Li（李加东）;  Dongmin Wu(吴东岷);  Dongmin Wu(吴东岷)
收藏  |  浏览/下载：14/0  |  提交时间：2013/01/25
Design, Fabrication, and Characterization of a High-Heating-Efficiency 3-D Microheater for Catalytic Gas Sensors 期刊论文
journal of microelectromechanical systems, 2012
Xu, Lei; Wang, Yuchen; Zhou, Hong; Liu, Yanxiang; Li, Tie; Wang, Yuelin
收藏  |  浏览/下载：8/0  |  提交时间：2015/11/12

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