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浏览/检索结果: 共5条，第1-5条 帮助 已选(0)清除 条数/页：5101520253035404550556065707580859095100   排序方式：请选择作者升序作者降序题名升序题名降序发表日期升序发表日期降序提交时间升序提交时间降序 Fabrication of an ultra-thin low resistance and high stability Ru-Mo-C seedless barrier for advanced Cu dual-damascene interconnects 期刊论文 JOURNAL OF MATERIALS SCIENCE-MATERIALS IN ELECTRONICS, 2018 作者:  Lin, Liwei;  Jiao, Guohua;  Lu, Yuanfu;  Liu, Bo;  Zou, Jianxiong 收藏  |  浏览/下载：65/0  |  提交时间：2019/01/31 Microstructure and Thermal Stability of MoC Doped Ru-Based Alloy Films as Seedless Diffusion Barrier 期刊论文 ACTA METALLURGICA SINICA, 2017, 卷号: 53, 页码: 31-37 作者:  Zou Jianxiong;  Liu Bo;  Lin Liwei;  Ren Ding;  Jiao Guohua 收藏  |  浏览/下载：3/0  |  提交时间：2019/11/26 thermal stability  amorphous RuMoC film  Cu metallization  seedless diffusion barrier   Microstructure and Thermal Stability of MoC Doped Ru-Based Alloy Films as Seedless Diffusion Barrier 期刊论文 ACTA METALLURGICA SINICA, 2017, 卷号: Vol.53 No.1, 页码: 31-37 作者:  Zou, JX;  Liu, B;  Lin, LW;  Ren, D;  Jiao, GH 收藏  |  浏览/下载：7/0  |  提交时间：2019/02/28 amorphous RuMoC film  seedless diffusion barrier  thermal stability  Cu metallization   The annealing effects on the micro-structure and properties of RuMoC films as seedless barrier for advanced Cu metallization 期刊论文 JOURNAL OF APPLIED PHYSICS, 2016 作者:  Zou, Jianxiong;  Liu, Bo;  Jiao, Guohua;  Lu, Yuanfu;  Dong, Yuming 收藏  |  浏览/下载：25/0  |  提交时间：2017/01/13 Investigation of amorphous RuMoCalloy films as a seedless diffusion barrier for Cup_SiOCH ultralow_k dielectricintegration. 期刊论文 Applied Physics A. Materials Science & Processing, 2015 作者:  Guohua Jiao;  Bo Liu;  Qiran Li 收藏  |  浏览/下载：15/0  |  提交时间：2016/01/27