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基体偏压对反应磁控溅射ZrN/α-SiN_x纳米多层薄膜结构及性能的影响 期刊论文
摩擦学学报, 2013, 期号: 01, 页码: 29-35
胡明; 高晓明; 张立平; 伏彦龙; 杨军; 翁立军; 刘维民
收藏  |  浏览/下载:15/0  |  提交时间:2014/03/07
基体偏压对反应磁控溅射ZrN/α-SiNx纳米多层薄膜结构及性能的影响 期刊论文
摩擦学学报, 2013, 卷号: 33, 期号: 1, 页码: 29-35
作者:  胡明;  高晓明;  张立平;  伏彦龙;  杨军
收藏  |  浏览/下载:17/0  |  提交时间:2013/12/11


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