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浏览/检索结果: 共2条，第1-2条 帮助 已选(0)清除 条数/页：5101520253035404550556065707580859095100   排序方式：请选择作者升序作者降序题名升序题名降序发表日期升序发表日期降序提交时间升序提交时间降序 Robust PECVD SiC membrane made for stencil lithography 期刊论文 微电子工程, 2011 Xie, Shenqi; Savu, Veronica; Tang, Wei; Vazquez-Mena, Oscar; Sidler, Katrin; Zhang, Haixia; Brugger, Juergen 收藏  |  浏览/下载：3/0  |  提交时间：2015/11/12 Stencil lithography  SiC stencil  Stress-induced deformation  Reactive ion etching (RIE)  MASK   Robust PECVD SiC membrane made for stencil lithography 其他 2011-01-01 Xie, Shenqi; Savu, Veronica; Tang, Wei; Vazquez-Mena, Oscar; Sidler, Katrin; Zhang, Haixia; Brugger, J??rgen 收藏  |  浏览/下载：7/0  |  提交时间：2017/12/03