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上海微系统与信息技术... [3]
内容类型
学位论文 [2]
期刊论文 [1]
发表日期
2007 [2]
2006 [1]
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Pyrex7740玻璃深刻蚀研究
期刊论文
微细加工技术, 2007, 期号: 01
明安杰
;
李铁
;
刘文平
;
王跃林
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浏览/下载:23/0
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提交时间:2012/01/06
Pb1-xMnxSe外延薄膜
透射光谱
带隙
折射率
基于MEMS技术的光纤声传感器研究
学位论文
硕士: 中国科学院研究生院(上海微系统与信息技术研究所) , 2007
许晓昕
收藏
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浏览/下载:33/0
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提交时间:2012/03/06
声传感器
光纤传感
MEMS
Pyrex7740深刻蚀
F-P腔
衍射光栅
基于MEMS技术的光纤声传感器技术研究
学位论文
硕士, 上海微系统与信息技术研究所: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所, 2006
许晓昕
收藏
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浏览/下载:47/0
  |  
提交时间:2012/03/06
声传感器
光纤传感
MEMS
Pyrex 7740深刻蚀
F-P腔
衍射光栅
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