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Pyrex7740玻璃深刻蚀研究 期刊论文
微细加工技术, 2007, 期号: 01
明安杰; 李铁; 刘文平; 王跃林
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基于MEMS技术的光纤声传感器研究 学位论文
硕士: 中国科学院研究生院(上海微系统与信息技术研究所)  , 2007
许晓昕  
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基于MEMS技术的光纤声传感器技术研究 学位论文
硕士, 上海微系统与信息技术研究所: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所, 2006
许晓昕
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