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Comparative Study of Hydrogen and Argon Dilution Effects in Amorphous SIC Thin Films Deposited by Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition
期刊论文
JOURNAL OF NANOSCIENCE AND NANOTECHNOLOGY, 2015, 卷号: 15, 期号: [db:dc_citation_issue], 页码: 7371-7375
作者:
Zhao, Ting
;
Qin, Yi
;
Wang, Bo
;
Yang, Jian-Feng
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提交时间:2019/12/02
Argon Dilution
Amorphous SiC
Hydrogen Dilution
PECVD
PECVD制备a-Si:H(nc-Si:H)/a-SiC:H多层薄膜的光电特性研究
学位论文
: 河北大学, 2015
作者:
刘宝元[1]
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浏览/下载:2/0
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提交时间:2019/12/21
PECVD
势阱
势垒
微结构
光学特性
电学特性
Switchable wetting and flexible SiC thin film with nanostructures for microfluidic surface-enhanced Raman scattering sensors
期刊论文
sensors and actuators a physical, 2014
Zhang, Xiao-Sheng
;
Meng, Bo
;
Zhu, Fu-Yun
;
Tang, Wei
;
Zhang, Hai-Xia
收藏
  |  
浏览/下载:2/0
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提交时间:2015/11/10
Silicon carbide
Switchable wettability
Flexible materials
SERS
Deep reactive ion etching
DUAL-SCALE STRUCTURES
SILICON-CARBIDE
STRUCTURES FABRICATION
PRESSURE SENSOR
SUPERHYDROPHOBICITY
MEMS
SUPERHYDROPHILICITY
TECHNOLOGY
Si基纳米薄膜光伏材料的制备、结构表征与光电特性
学位论文
: 河北大学, 2014
作者:
马蕾[1]
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浏览/下载:2/0
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提交时间:2019/12/21
PECVD
本征nc-Si:H薄膜
掺杂nc-Si:H薄膜
nc-Si:H/α-SiC:H多层膜
微结构特征
光电特性
a-Si:H(nc-Si:H)/a-SiC:H多层薄膜的制备与光电特性研究
学位论文
: 河北大学, 2014
作者:
蒋冰[1]
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浏览/下载:3/0
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提交时间:2019/12/21
RF-PECVD技术
多层薄膜
制备工艺
光学特性
电学特性
Direct PECVD growth of vertically erected graphene walls on dielectric substrates as excellent multifunctional electrodes
期刊论文
Journal of Materials Chemistry A, 2013, 期号: 1, 页码: 770
杨重寅
;
毕辉
;
万冬云
;
黄富强
;
99
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浏览/下载:19/0
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提交时间:2014/12/18
Time-resolved photoluminescence from Si-in-SiNx/Si-in-SiC quantum well-dot structures
期刊论文
OPTICAL MATERIALS, 2013, 卷号: 35, 期号: 12, 页码: 2414
Huang, R
;
Du, Y
;
Ji, AL
;
Cao, ZX
收藏
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浏览/下载:19/0
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提交时间:2014/01/17
Time-resolved photoluminescence
Si-in-SiNx/Si-in-SiC
Si quantum dots
PECVD
Influence of Substrate Temperature on the Morphology, Composition and Growth Rate of SiC Films Deposited by PECVD
期刊论文
JOURNAL OF INORGANIC MATERIALS, 2013, 卷号: 28, 期号: [db:dc_citation_issue], 页码: 201-206
作者:
Yu Fang-Li
;
Bai Yu
;
Qin Yi
;
Yue Dong
;
Luo Cai-Jun
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浏览/下载:2/0
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提交时间:2019/12/03
SiC
amorphous film
substrate temperature
growth rate
PECVD
High aspect ratio etching of nanopores in PECVD SiC through AAO mask
其他
2013-01-01
Wu, Songmei
;
Bammatter, Marc-Oliver
;
Tang, Wei
;
Auzelyte, Vaida
;
Zhang, Haixia
;
Brugger, Juergen
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浏览/下载:2/0
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提交时间:2015/11/16
nanopore
PECVD SiC
Nanopore
AAO
ANODIZED ALUMINUM
PLASMA
FABRICATION
MEMBRANES
SILICON
ARRAY
Switchable wetting & flexible SiC thin film with nanostructures
其他
2013-01-01
Zhang, X.S.
;
Meng, B.
;
Zhu, F.Y.
;
Tang, W.
;
Zhang, H.X.
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浏览/下载:3/0
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提交时间:2015/11/13
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