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浏览/检索结果: 共2条，第1-2条 帮助 已选(0)清除 条数/页：5101520253035404550556065707580859095100   排序方式：请选择作者升序作者降序题名升序题名降序发表日期升序发表日期降序提交时间升序提交时间降序 Analysis on the Centroid Offset of Coupling Beam in Array-composite Resonator due to Process Variations 期刊论文 SENSORS AND MATERIALS, 2018, 卷号: 30, 页码: 2727-2745 作者:  Yan, Haixia;  Tao, Jiaping;  Dong, Linxi 收藏  |  浏览/下载：6/0  |  提交时间：2019/11/26 micro-electromechanical system (MEMS)  centroid offset  micromechanical disk resonator  PSpice simulation  double-disk coupled resonator   Inclination Effects on Voltage-controlled Tuning of MEMS Disk Resonator Array Composite Fabricated by Deep Reactive-ion Etching 期刊论文 SENSORS AND MATERIALS, 2018, 卷号: 30, 页码: 2747-2760 作者:  Yan, Haixia;  Bao, Jinyan;  Yu, Quan;  Dong, Linxi 收藏  |  浏览/下载：13/0  |  提交时间：2019/11/26 motional resistance  electromechanical coupling  electrostatic tuning  MEMS disk resonator array  DRIE process