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浏览/检索结果: 共1条，第1-1条 帮助 已选(0)清除 条数/页：5101520253035404550556065707580859095100   排序方式：请选择作者升序作者降序题名升序题名降序发表日期升序发表日期降序提交时间升序提交时间降序 Dimensional metrology of smooth micro structures utilizing the spatial modulation of white-light interference fringes 期刊论文 Optics and Laser Technology, 2017, 卷号: 93, 页码: 187-193 作者:  Zhou, Yi;  Tang, Yan;  Deng, Qinyuan;  Liu, Junbo;  Wang, Jian 收藏  |  浏览/下载：53/0  |  提交时间：2018/11/20 Frequency domain analysis - Interferometry - Microstructure - Phase measurement - System stability - Topography - Units of measurement