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A Novel CMUT-Based Resonant Biochemical Sensor Using Electrospinning Technology
期刊论文
IEEE TRANSACTIONS ON INDUSTRIAL ELECTRONICS, 2019, 卷号: 66, 页码: 7356-7365
作者:
Zhao, Libo
;
Zhao, Yihe
;
Xia, Yong
;
Li, Zhikang
;
Li, Jie
收藏
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浏览/下载：4/0
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提交时间：2019/12/30
Capacitive micromachined ultrasonic transducer (CMUT)-based resonant biochemical sensor
electrospinning technology
impedance characteristics
resonant frequency shift
volume sensitivity
Optimization on benzocyclobutene-based CMUT fabrication with an inverse structure
期刊论文
SENSORS AND ACTUATORS A-PHYSICAL, 2018, 卷号: 281, 页码: 1-8
作者:
Li, Zhenhao
;
Na, Shuai
;
Chen, Albert I. H.
;
Wong, Lawrence L. P.
;
Sun, Zhendong
收藏
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浏览/下载：33/0
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提交时间：2018/11/16
Capacitive micromachined ultrasonic transducer
Adhesive wafer bonding
Photosensitive benzocyclobutene
Resonator
Development of a Novel CMUT-Based Concentric Dual-Element Ultrasonic Transducer: Design, Fabrication, and Characterization
期刊论文
JOURNAL OF MICROELECTROMECHANICAL SYSTEMS, 2018, 卷号: 27, 期号: 3, 页码: 538-546
作者:
Zheng, Zhou
;
Na, Shuai
;
Chen, Albert I. -Hsiang
;
Li, Zhenhao
;
Wong, Lawrence L. P.
收藏
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浏览/下载：33/0
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提交时间：2018/07/30
Annular element
capacitive micromachined ultrasonic transducer (CMUT)
concentric
deep reactive-ion etching
dual-element
hybrid transducer
Monolithic Multiband CMUTs for Photoacoustic Computed Tomography with In Vivo Biological Tissue Imaging
期刊论文
IEEE Transactions on Ultrasonics, Ferroelectrics, and Frequency Control, 2018, 卷号: 65, 期号: 3, 页码: 465-475
作者:
Pun, Sio Hang
;
Yu, Yuanyu*
;
Zhang, Jian
;
Wang, Jiujiang
;
Cheng, Ching-Hsiang
收藏
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浏览/下载：7/0
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提交时间：2019/12/04
Capacitive micromachined ultrasonic transducer (CMUT)
multiband CMUT
photoacoustic computed tomography (PACT)
Optimization on benzocyclobutene-based CMUT fabrication with an inverse structure
期刊论文
SENSORS AND ACTUATORS A-PHYSICAL, 2018, 卷号: 281, 页码: 1
作者:
Li, Zhenhao
;
Na, Shuai
;
Chen, Albert I. H.
;
Wong, Lawrence L. P.
;
Sun, Zhendong
收藏
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浏览/下载：8/0
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提交时间：2019/12/31
Development of a Novel CMUT-Based Concentric Dual-Element Ultrasonic Transducer: Design, Fabrication, and Characterization
期刊论文
JOURNAL OF MICROELECTROMECHANICAL SYSTEMS, 2018, 卷号: 27, 期号: 3, 页码: 538
作者:
Zheng, Zhou
;
Na, Shuai
;
Chen, Albert I. -Hsiang
;
Li, Zhenhao
;
Wong, Lawrence L. P.
收藏
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浏览/下载：3/0
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提交时间：2019/12/31
电容式微加工超声传感器的关键技术研究
学位论文
2017
作者:
李支康
收藏
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浏览/下载：3/0
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提交时间：2019/11/26
CMUT
薄膜变形
塌陷电压
谐振频率
低温晶圆键合
Glass-SOI-Based Hybrid-Bonded Capacitive Micromachined Ultrasonic Transducer With Hermetic Cavities for Immersion Applications
期刊论文
JOURNAL OF MICROELECTROMECHANICAL SYSTEMS, 2016, 卷号: 25, 期号: 5
作者:
Miao, Jing
;
Wang, Hui
;
Li, Peng
;
Shen, Wenjiang(沈文江)
;
Xue, Chenyang
收藏
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浏览/下载：31/0
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提交时间：2017/03/11
Fabrication of CMUTs with a Low Temperature Wafer Bonding Technology
会议论文
作者:
Li, Zhikang
;
Zhao, Libo
;
Jiang, Zhuangde
;
Li, Ping
;
Hu, Yingjie
收藏
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浏览/下载：4/0
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提交时间：2019/12/02
Transition metal layers
Fabrication process
CMUT
wafer bonding
Low temperature
Capacitive Micromachined Ultrasonic Transducers for Medical Application
会议论文
International Conference on Electrical and Electronics - Techniques and Applications (EETA), 2015-01-01
-
收藏
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浏览/下载：3/0
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提交时间：2019/12/23
CMUT
Medical imaging
Medical therapy
MEMS
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