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浏览/检索结果: 共1条，第1-1条 帮助 已选(0)清除 条数/页：5101520253035404550556065707580859095100   排序方式：请选择作者升序作者降序题名升序题名降序发表日期升序发表日期降序提交时间升序提交时间降序 基于微机械工艺的电磁型平面微电机的研究 学位论文 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所: 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所, 2003 作者:  郭占社 收藏  |  浏览/下载：8/0  |  提交时间：2012/03/21 电磁型平面微电机  Liga工艺  硅深刻蚀工艺  非接触式力矩测试仪