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浏览/检索结果: 共7条，第1-7条 帮助 已选(0)清除 条数/页：5101520253035404550556065707580859095100   排序方式：请选择作者升序作者降序题名升序题名降序发表日期升序发表日期降序提交时间升序提交时间降序 基于MEMS压差传感器的二维风速计研究 学位论文 博士, 北京: 中国科学院研究生院, 2016 刘成 收藏  |  浏览/下载：20/0  |  提交时间：2016/06/08 二维风速计  压差传感器  微电子机械系统  风速  风向   微悬臂梁传感器以及读出电路的单片集成 期刊论文 传感技术学报, 2008 汤雅权; 张海涛; 马盛林; 于晓梅 收藏  |  浏览/下载：1/0  |  提交时间：2015/11/11 单片集成  仪用放大器  MEMS  SOI   SOI微机械结构和相关器件研究 学位论文 博士: 中国科学院研究生院（上海微系统与信息技术研究所）  , 2008 武爱民 收藏  |  浏览/下载：24/0  |  提交时间：2012/03/06 绝缘体上的硅  　微机械系统  　压力传感器  　有限元分析  　二维光子晶体　   MEMS集成传感器的关键技术研究 学位论文 2008 作者:  徐敬波 收藏  |  浏览/下载：1/0  |  提交时间：2019/12/18 MEMS集成传感器体硅微机械加工SOI封装   基于SOI的集成硅微传感器芯片的制作 期刊论文 半导体学报, 2007 徐敬波; 赵玉龙; 蒋庄德; 张大成; 杨芳; 孙剑 收藏  |  浏览/下载：2/0  |  提交时间：2015/11/12 集成传感器 SOI MEMS   基于MEMS 技术制作的硅纳米线及其性质研究 学位论文 博士, 上海微系统与信息技术研究所: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所, 2006 刘文平 收藏  |  浏览/下载：62/0  |  提交时间：2012/03/06 纳米制造技术  硅纳米线  微电子机械系统  表面态   基于MEMS技术制作的硅纳米线及其性质研究 学位论文 博士: 中国科学院研究生院（上海微系统与信息技术研究所）  , 2006 刘文平   收藏  |  浏览/下载：26/0  |  提交时间：2012/03/06 纳米制造技术  硅纳米线  微电子机械系统  表面态