×
验证码:
换一张
忘记密码?
记住我
CORC
首页
科研机构
检索
知识图谱
申请加入
托管服务
登录
注册
在结果中检索
科研机构
兰州大学 [1]
内容类型
期刊论文 [1]
发表日期
1993 [1]
学科主题
482.2 Mine... [1]
×
知识图谱
CORC
开始提交
已提交作品
待认领作品
已认领作品
未提交全文
收藏管理
QQ客服
官方微博
反馈留言
浏览/检索结果:
共1条,第1-1条
帮助
已选(
0
)
清除
条数/页:
5
10
15
20
25
30
35
40
45
50
55
60
65
70
75
80
85
90
95
100
排序方式:
请选择
作者升序
作者降序
题名升序
题名降序
发表日期升序
发表日期降序
提交时间升序
提交时间降序
类金刚石碳膜的制备及性能
期刊论文
微细加工技术/Weixi Jiagong Jishu/Microfabrication Technology, 1993, 期号: 3, 页码: 88-91
作者:
陈智颖
;
王维洁
;
王天民
收藏
  |  
浏览/下载:4/0
  |  
提交时间:2015/04/27
DLC膜:6301
类金刚石碳膜:6140
氢含量:2336
重配:2121
石墨:1647
碳原子:1626
离子能量:1497
碳离子束:1491
射频等离子体沉积:1193
电阻率:1170
Analogous diamond carbon film
Low pressure vapor deposition
©版权所有 ©2017 CSpace - Powered by
CSpace