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| MEMS硅玻璃阳极键合工艺评价方法 期刊论文
传感器与微系统, 2017
谷专元; 何春华; 何燕华; 赵前程; 张大成
  收藏 | 浏览/下载：5/0 | 提交时间：2017/12/03
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| MEMS硅玻璃阳极键合工艺评价方法 期刊论文
《传感器与微系统》, 2017, 卷号: 36, 页码: 54-56
作者: 谷专元[1,2] 何春华[2,3]; 何燕华[1] 赵前程[3]; 张大成[3]
收藏 | 浏览/下载：4/0 | 提交时间：2019/04/24
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| 白光干涉解调光纤MEMS压力传感器 期刊论文
2014
江小峰; 林春; 谢海鹤; 颜黄苹; 张建城; 黄元庆
收藏 | 浏览/下载：7/0 | 提交时间：2016/05/17
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| 带有Si_3N_4薄膜的玻璃-硅-玻璃三层结构的阳极键合 期刊论文
2013
林智鑫; 王盛贵; 刘琦; 曾毅波; 郭航
收藏 | 浏览/下载：6/0 | 提交时间：2016/05/17
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| 硅玻璃激光键合技术及芯片级原子钟气密性 学位论文
博士: 中国科学院研究生院（上海微系统与信息技术研究所） , 2012
张志强
收藏 | 浏览/下载：146/0 | 提交时间：2013/04/24
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| 锯齿型微流道微泵流动特性分析及性能测试 期刊论文
纳米技术与精密工程, 2012, 期号: 5, 页码: 451-457
关炎芳; 刘春波; 张士雄; 俞正寅
收藏 | 浏览/下载：27/0 | 提交时间：2013/02/22
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| 一种晶圆级阳极键合方法 专利
申请日期: 2011-12-02,
作者: 罗巍; 夏洋; 李超波; 张阳; 解婧
收藏 | 浏览/下载：11/0 | 提交时间：2016/09/14 |
| 基于MEMS与AFM的纳米管道系统制作方法研究 学位论文
博士, 中国科学院沈阳自动化研究所: 中国科学院沈阳自动化研究所, 2011
王志迁
收藏 | 浏览/下载：24/0 | 提交时间：2012/07/27
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| 一种控制硅深刻蚀损伤方法的研究 会议论文
第十届全国敏感元件与传感器学术会议论文集, 第十届全国敏感元件与传感器学术会议, 中国北京, CNKI, 全国敏感元件与传感器学术团体联合组织委员会
阮勇; 叶双莉; 张大成; 任天令; 刘理天; RUAN Yong; YE Shuang-li; ZHANG Da-cheng; REN Tian-ling; LIU Li-tian
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| 一种控制硅深刻蚀损伤方法的研究 期刊论文
2010, 2010
阮勇; 叶双莉; 张大成; 任天令; 刘理天; RUAN Yong; YE Shuang-li; ZHANG Da-cheng; REN Tian-ling; LIU Li-tian
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