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高NA光刻机投影物镜偏振像差检测技术研究 学位论文
博士: 中国科学院上海光学精密机械研究所, 2016
作者:  沈丽娜
收藏  |  浏览/下载：146/0  |  提交时间：2016/11/28
Measuring Method of Polarization Aberration Based on Vector Aerial Image of Alternating Phase-shift Mask 期刊论文
光学学报, 2016, 卷号: 36, 期号: 8, 页码: 811003
作者:  Li SK(李思坤);  Zhang H(张恒);  Meng ZJ(孟泽江);  Zhu BE(诸波尔);  Yan GY(闫观勇)
收藏  |  浏览/下载：11/0  |  提交时间：2017/12/25
Measuring Method of Polarization Aberration Based on Vector Aerial Image of Alternating Phase-shift Mask 期刊论文
光学学报, 2016, 卷号: 36, 期号: 8, 页码: 811003
作者:  Yan GY(闫观勇);  Shen LN(沈丽娜);  Wang XC(王向朝);  Li SK(李思坤);  Zhu BE(诸波尔)
收藏  |  浏览/下载：35/0  |  提交时间：2017/12/25
极紫外光刻物镜系统光学设计研究 学位论文
博士: 中国科学院大学, 2015
作者:  王君
收藏  |  浏览/下载：118/0  |  提交时间：2015/11/30
扫描干涉场曝光系统干涉条纹测量与调整方法研究 学位论文
博士: 中国科学院大学, 2015
作者:  姜珊
收藏  |  浏览/下载：101/0  |  提交时间：2015/11/30
投影物镜偏振像差对光刻成像质量影响的解析分析方法 期刊论文
光学学报, 2015, 卷号: 35, 期号: 6, 页码: 611003
作者:  沈丽娜;  李思坤;  王向朝;  闫观勇
收藏  |  浏览/下载：12/0  |  提交时间：2016/11/28
相移光纤光栅的制作和特性 期刊论文
大学物理实验, 2014, 卷号: 第6期, 页码: 10-11
作者:  张子云;  林继平
收藏  |  浏览/下载：1/0  |  提交时间：2019/04/17
一种基于线性模型的光刻投影物镜偏振像差补偿方法 期刊论文
光学学报, 2013, 卷号: 33, 期号: 6, 页码: 622002
作者:  涂远莹;  王向朝
收藏  |  浏览/下载：9/0  |  提交时间：2016/11/28
基于泽尼克相衬成像的相移干涉显微装置及方法 专利
专利类型: 发明, 专利号: CN102221327, 申请日期: 2012-07-11, 公开日期: 2014-05-06
作者:  但旦
收藏  |  浏览/下载：11/0  |  提交时间：2014/05/04
一种高精度横向剪切干涉仪相移装置 (发明) 专利
专利类型: 发明专利, 申请日期: 2012-06-27, 公开日期: 2012-08-29
何煦; 向阳
收藏  |  浏览/下载：8/0  |  提交时间：2012/08/29

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