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| 基于扭摆的微冲量测量方法及实验研究 期刊论文
力学学报, 2022, 卷号: 54, 期号: 03, 页码: 669-677
作者: 杨超; 贺建武; 章楚; 康琦; 段俐
  收藏 | 浏览/下载：7/0 | 提交时间：2022/06/10
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| 应用于空间惯性传感器的压电驱动器的性能测试 期刊论文
中国光学, 2020, 卷号: 13, 期号: 02, 页码: 344-353
作者: 李华东; 齐克奇; 石强; 王少鑫; 王智
收藏 | 浏览/下载：2/0 | 提交时间：2021/07/06
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| 亚微牛级推力测量系统设计及实验研究 期刊论文
中国光学, 2019, 卷号: 12, 期号: 03, 页码: 526-534
作者: 杨超 ; 贺建武; 康琦; 段俐
收藏 | 浏览/下载：43/0 | 提交时间：2019/09/12
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| 压电促动器的纳米级精度控制及其在光刻物镜中的应用研究 学位论文
中国科学院大学(中国科学院长春光学精密机械与物理研究所): 中国科学院大学(中国科学院长春光学精密机械与物理研究所), 2019
作者: 李朋志
收藏 | 浏览/下载：7/0 | 提交时间：2020/08/24
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| 基于同极联动结构的一种角度/位移电容传感器 期刊论文
大学物理实验, 2018, 卷号: 31, 页码: 13-16
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收藏 | 浏览/下载：1/0 | 提交时间：2020/01/03
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| 基于电容传感器的精密压电微位移系统研究 期刊论文
半导体光电, 2018, 卷号: 39, 页码: 146-150
作者: 李慧鹏; 唐若祥; 吕亚宁; 孙业飞
收藏 | 浏览/下载：2/0 | 提交时间：2019/12/30
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| 铝合金反射镜面形精度与表面质量提升关键技术研究 学位论文
中国科学院大学(中国科学院长春光学精密机械与物理研究所): 中国科学院大学(中国科学院长春光学精密机械与物理研究所), 2018
作者: 李兴昶
收藏 | 浏览/下载：1/0 | 提交时间：2019/09/23
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| 单排差动结构的新型纳米时栅位移传感器 期刊论文
仪器仪表学报, 2017, 页码: 734-740
作者: 彭凯; 于治成; 刘小康; 郑方燕; 蒲红吉
收藏 | 浏览/下载：2/0 | 提交时间：2019/11/26
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| 用于MEMS微镜监测的光电集成位置传感芯片的研究 学位论文
2016, 2016
郑明
收藏 | 浏览/下载：6/0 | 提交时间：2017/06/20
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| 狭缝柔性结构的光学元件超精密调节机构研究 期刊论文
中国科学院长春光学精密机械与物理研究所, 2016, 期号: 6
作者: 董世则
收藏 | 浏览/下载：30/0 | 提交时间：2017/09/17
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