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科研机构
上海光学精密机械研究... [3]
内容类型
学位论文 [3]
发表日期
2014 [2]
学科主题
光学工程 [1]
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基于达曼光栅的并行激光直写光刻机研究
学位论文
博士: 中国科学院上海光学精密机械研究所, 2014
作者:
朱锋
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提交时间:2016/11/28
激光并行直写
自动聚焦
达曼光栅
微纳加工
误差分析与校正
基于旋转达曼光栅的多路并行激光直写系统
学位论文
硕士: 中国科学院上海光学精密机械研究所, 2014
作者:
黄巍
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浏览/下载:20/0
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提交时间:2016/11/28
旋转
达曼光栅
激光直写
基于激光直写系统的衍射光栅制备
学位论文
作者:
王津
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浏览/下载:17/0
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提交时间:2018/12/26
激光直写系统
direct laser writing system
衍射光栅
diffraction gratings
旋转达曼光栅技术
rotating Dammann grating technology
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