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浏览/检索结果: 共2条，第1-2条 帮助 已选(0)清除 条数/页：5101520253035404550556065707580859095100   排序方式：请选择作者升序作者降序题名升序题名降序发表日期升序发表日期降序提交时间升序提交时间降序 基于电化学沉积的高深宽比无源MEMS惯性开关的研制 期刊论文 航空制造技术, 2017, 页码: 24-29 作者:  杜立群;  陶友胜;  李爰琪;  齐磊杰 收藏  |  浏览/下载：4/0  |  提交时间：2019/12/09 电化学沉积  微电铸模具  高深宽比  紫外光刻   微流控芯片电铸模具铸层的均匀性研究 学位论文 : 大连理工大学, 2016 作者:  杨彤 收藏  |  浏览/下载：3/0  |  提交时间：2019/12/09 微流控芯片模具  铸层厚度  均匀性  超声参数  辅助阴极