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| 一种直接输出频率谐振式微机械陀螺谐振子的模拟电路 专利
申请日期: 2014-01-01, 公开日期: 2014-11-12
作者: 樊尚春; 续龙; 曹乐; 郭占社
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| 基于浓硼自停止腐蚀技术的硅微谐振结构的制备 学位论文
2013, 2013
张豪尔
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| 微机械谐振子单端口电容检测方法研究 期刊论文
计测技术, 2013, 页码: 20-25
作者: 邢维巍; 谷姗姗; 王炜明; 章建军; 樊尚春
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| 微机械硅谐振式气体流速传感器 专利
专利类型: 发明, 申请日期: 2010-12-24, 公开日期: 2008, 2010-12-24
陈德勇; 陈 健
收藏 | 浏览/下载：28/0 | 提交时间：2010/12/24 |
| 微机械硅谐振式气体流速传感器 专利
专利类型: 发明, 申请日期: 2010-12-24, 公开日期: 2008, 2010-12-24
陈德勇; 陈 健
收藏 | 浏览/下载：9/0 | 提交时间：2010/12/24 |
| 一种基于MEMS技术的谐振式气体微流量传感器的设计与制造 学位论文
硕士, 电子学研究所: 中国科学院电子学研究所, 2009
郭然
收藏 | 浏览/下载：70/0 | 提交时间：2011/07/19
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| 一种基于MEMS技术的谐振式气体微流量传感器的设计与制造 学位论文
硕士, 电子学研究所: 中国科学院电子学研究所, 2009
郭然
收藏 | 浏览/下载：10/0 | 提交时间：2011/07/19
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| 静电梳微谐振子直脚型结构的振动特性 期刊论文
机械设计与制造工程, 2000, 卷号: 15, 页码: 6-7+11
作者: 丁晓红[1]; 陈晓阳[2]; 沈雪瑾[3]
收藏 | 浏览/下载：0/0 | 提交时间：2019/05/11
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| 静电梳微谐振子蟹脚型结构的振动特性 期刊论文
机械设计与制造工程, 2000, 卷号: 29, 页码: 10-11+14
作者: 丁晓红[1]; 陈晓阳[2]; 沈雪瑾[3]
收藏 | 浏览/下载：0/0 | 提交时间：2019/05/11
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| 光激励硅微机械谐振式传感器的进展 期刊论文
1999, 页码: 1
作者: 刘月明; 刘君华; 张少君
收藏 | 浏览/下载：1/0 | 提交时间：2019/12/25
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