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浏览/检索结果: 共3条，第1-3条 帮助 已选(0)清除 条数/页：5101520253035404550556065707580859095100   排序方式：请选择作者升序作者降序题名升序题名降序发表日期升序发表日期降序提交时间升序提交时间降序 用于承载铷原子钟滤光泡的高品质微腔体制备 期刊论文 2014 王婷婷; 曾毅波; 王盛贵; 魏秀燕; 毕瑞可; 郭航 收藏  |  浏览/下载：3/0  |  提交时间：2016/05/17 微腔体  铷原子钟  各项异性湿法腐蚀  超声腐蚀  激光共聚焦扫描显微镜  凸角补偿  micro-cavity  rubidium atomic clock  anisotropic wet etching  etching under ultrasonic stirring  laser scanning confocal microscope(LSCM)  concave corner compensation   一种硅湿法腐蚀制作多级微反射镜的方法 (发明) 专利 专利类型: 发明专利, 申请日期: 2010-10-27, 公开日期: 2010-10-27 梁静秋; 梁中翥; 禹秉熙 收藏  |  浏览/下载：17/0  |  提交时间：2012/08/29 CMOS兼容的干法刻蚀释放热电堆红外探测器 学位论文 硕士: 中国科学院研究生院（上海微系统与信息技术研究所）  , 2008 杨恒昭   收藏  |  浏览/下载：41/0  |  提交时间：2012/03/06 热电堆探测器  XeF_2气体  低应力Si_3N_4  N-MOSFET  单片集成