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| 热丝辅助MW-ECRCVD制备a-Si:H薄膜及硅-氢键合模式变化的研究 会议论文
全国薄膜技术学术研讨会
作者: 张文理; 陈光华; 何斌; 朱秀红; 马占洁
  收藏 | 浏览/下载：2/0 | 提交时间：2015/06/24
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| β—C3N4超硬材料的汽相合成 期刊论文
北京工业大学学报, 1998, 期号: 3, 页码: 1-4+19
作者: 陈光华; 严辉; 王波; 宋雪梅; 张兴旺
收藏 | 浏览/下载：2/0 | 提交时间：2015/04/27
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| 等离子体增强热丝CVD法生长cBN薄膜中的衬底效应 期刊论文
人工晶体学报, 1997, 期号: Z1, 页码: 1
作者: 陈光华; 张兴旺; 岳金顺; 严辉
收藏 | 浏览/下载：3/0 | 提交时间：2015/04/27
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| 金刚石薄膜在热敏打印头上的应用 期刊论文
兰州大学学报, 1996, 期号: 4, 页码: 4
作者: 王志勇; 姚江宏; 韩立; 陈光华
收藏 | 浏览/下载：3/0 | 提交时间：2015/04/27
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| 化学汽相沉积金刚石生长表面氢原子覆盖率的研究 期刊论文
物理学报, 1996, 期号: 3, 页码: 539-544
作者: 张亚菲; 陈光华
收藏 | 浏览/下载：2/0 | 提交时间：2015/04/27
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| 热灯丝射频等离子体CVD法立方氮化硼薄膜某性质的研究 期刊论文
人工晶体学报, 1995, 期号: 4, 页码: 6
作者: 廖克俊; 王万录
收藏 | 浏览/下载：1/0 | 提交时间：2015/04/27
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| 直流等离子体CVD法合成的金刚石膜的断裂强度研究 期刊论文
物理学报, 1994, 期号: 9, 页码: 5
作者: 廖克俊; 王万录
收藏 | 浏览/下载：1/0 | 提交时间：2015/04/27
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| 直流等离子体化学汽相沉积法合成的金刚石膜的内应力研究 期刊论文
物理学报, 1992, 期号: 11, 页码: 1906-1912
作者: 王万录; 高锦英; 廖克俊; 刘爱民
收藏 | 浏览/下载：1/0 | 提交时间：2015/04/27
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| CVD BPSG膜的沉积及其回流机理 期刊论文
半导体学报, 1986, 期号: 04
曾天亮; 江志庚
收藏 | 浏览/下载：52/0 | 提交时间：2012/03/29 |
| 汽相硅单晶生长 期刊论文
半导体技术, 1982, 期号: 06
斯崇奎; 黄兆斌; 杨传铮
收藏 | 浏览/下载：14/0 | 提交时间：2012/03/29 |
